偉烽壓力傳感器在微壓測量領域中靈敏度極高

發布時間：2022年05月31日 17時55分17秒

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　　在微壓測量領域中由於(yu) 壓力數值較小，對敏感元件產(chan) 生的物理變化也相應的小很多。這就要求了敏感元件需要滿足相對較高的靈敏度了。而壓力傳(chuan) 感器由於(yu) 靈敏度較高頻率對壓力的變化比較敏感。因此在低壓高精度的測量中有著相對較好的性能表現。當精度要求不是很高的情況下，擴散矽和電容式可以兼顧精度和成本。擴散矽壓力傳(chuan) 感器的靈敏度較高，其kPa也可應用於(yu) 微壓下的表壓絕壓測量。

　　那麽(me) 在低壓和中壓的測量應用中量程範圍可選性相對來說比較地廣泛，高精度可選諧振式，中等精度水平可以選用擴散矽式，陶瓷電容電阻式，金屬應變式傳(chuan) 感器擴散矽式靈敏度高和體(ti) 積小以及生產(chan) 工藝複雜且相對成本略高，而陶瓷式成本低、精度低、適合大批量低成本應用中，由於(yu) 材料的特性其靈敏度低不耐壓力瞬變和機械衝(chong) 擊。金屬應變類型考慮了成本和精度。經過熱處理的彈性體(ti) 可以滿足不同測量介質的要求。根據不同的工藝，敏感元件包括濺射膜、玻璃微熔、應變片等。從(cong) 低靈敏度到高靈敏度的範圍受到彈性體(ti) 工藝的限製，然而在低壓下的測量精度相對較差，實用新型的優(you) 點是金屬彈性體(ti) 能夠承受較大的衝(chong) 擊。

　　而在中高壓的應用中擴散矽和金屬應變式各有著廣泛的應用，陶瓷受限於(yu) 材料的強度高壓耐受強度較差。金屬應變式還具有較大的優(you) 勢，同時受益於(yu) 金屬彈性體(ti) 材料的強度可以承受幾百兆帕的壓力，同時能夠應對較大衝(chong) 擊的應用場景。

　　壓力傳(chuan) 感器如果依照準確度等級來看的話從(cong) 高精度的0.01級到低精度的4.0級，通常諧振壓力傳(chuan) 感器還可以滿足從(cong) 低壓到高壓水平0.01到0.05級的測量要求。擴散矽傳(chuan) 感器的精度範圍為(wei) 0.02～0.5級，陶瓷傳(chuan) 感器的精度範圍為(wei) 0.2～4.0級，而金屬應變傳(chuan) 感器的精度範圍為(wei) 0.5～4.0級。

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