壓力傳感器元件的測量方法

發布時間：2022年05月18日 19時09分13秒

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　　壓阻式傳(chuan) 感器的高精度及其測量絕對壓力，表壓和差壓的能力使其在各種應用中得到廣泛的應用。

　　對於(yu) 工業(ye) 設備和機械，壓力傳(chuan) 感器所提供的信息可用於(yu) 最有效地操作液壓或氣動設備，這可與(yu) 新的工業(ye) 4.0標準相關(guan) 聯。

　　汽車對燃油效率和減少有害排放的要求越來越高，這就需要長期穩定、高精度的傳(chuan) 感器了。除了介電電阻外，一些應用要求壓力傳(chuan) 感器具有抗凍性，但最重要的是傳(chuan) 感器需要在其整個(ge) 使用壽命內(nei) 提供可靠的信號。

　　各種用途對壓力模的獨特特性提出了越來越高的要求，這就需要在模具層麵上具有特定的設計特性。開發了一係列TDK壓力傳(chuan) 感器，重點是提高靈敏度和高性能以及小模具尺寸。此外還特別注意介質電阻和易處理能力的具體(ti) 特點。

　　壓阻壓力傳(chuan) 感方法

　　壓阻壓力測量

　　絕對壓力測量 – 前側(ce)

　　玻璃在真空下與(yu) 矽結合以產(chan) 生控製真空。被測介質與(yu) 壓力傳(chuan) 感器元件芯片前麵的有源電子元件接觸。

　　絕對壓力測量 – 背側(ce)

　　對於(yu) 潮濕或腐蝕性介質，使用額外的玻璃蓋在前側(ce) 形成控製室。介質應用於(yu) 側(ce) 麵入口。

　　表壓和壓差測量

　　表壓或壓差測量正麵和背麵之間的差值。較高的前壓力導致的壓差導致輸出信號發生正變化。較高的背壓導致輸出信號出現負變化。

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